(в структуре ИС) feature size, linewidth* * *line width
larghezza della linea
lead-over linewidth
Linienbreite
(на чертеже или графике) line width вчт.
(спектра) largeur de raie
ширина́ лі́нії
• šířka čáry
жолсызық ені
Linienbreite
line width
width of emission line
width of laser line
laser linewidth
width of maser line
микроқұрылым жолының ені
width of absorption line
Strukturbreite
(ИС) line width, pattern width, pattern line width